机译:B_4C / CeO_2多层膜在6.x nm极紫外波长下的沉积和表征
机译:Pd / B4C / Y多层涂层,用于10 nm波长附近的极端紫外线应用
机译:铱/硅多层膜,用于20-35 nm波长范围内的极端紫外线应用
机译:6.x nm波长在6.x nm波长下极端紫外光刻的抗蚀剂敏感性预测 - (ppt)
机译:钼/硅多层膜的皮秒超声表征,用于极端紫外光刻。
机译:使用长波电场对极端紫外线脉冲进行亚秒条纹测量
机译:B4C / CeO2多层膜在6.x nm极紫外波长下的沉积和表征